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137-2866-5346作為低原子序數材料，對離子、等離子具有較強的抗轟擊能力，純度高沒有金屬離子不會對半導體產生污染。 用于等離子cvd用部件 等離子cvd用感受器、電極室、噴嘴、內襯、濺射用電極、mocvd感受器等
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